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中微公司Primo Menova 12寸金属刻蚀设备全球首台机付运

经观智讯2025-06-24 11:08

经济观察网讯 近日，中微公司宣布其Primo Menova 12寸金属刻蚀设备全球首台机顺利付运国内一家重要集成电路研发设计及制造服务商。据介绍，该设备专注于金属刻蚀，尤其擅长于金属Al线、Al块的刻蚀，可广泛应用于功率半导体、存储器件和先进逻辑芯片的制造，是晶圆厂金属化工艺主要设备之一。


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