经济观察网 半导体设备ETF广发5月20日净申购10400.00万份，占本ETF基金份额比例为6.04%，连续4日该基金最新份额17.22亿份，上市至今累计增加15.05亿份。最新规模50.85亿元，上市至今累计增加48.67亿元。
该基金近一年涨166.28%，最大回撤为19.36%。当前ETF溢折率0.39%，超过历史95%的时间，处于高风险区，偏离净值幅度较大，存在回落风险。
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