经济观察网 中微公司上修2026年订单增速预期，一季度业绩大幅增长，同时披露技术研发与战略布局相关进展。

订单预期大幅上修
公司于5月15日将2026年全年意向订单增速预期从约30%上修至超过50%，显著超出市场预期。这直接反映了存储芯片、国产先进制程及晶圆厂扩产带来的强劲需求。

业绩经营情况
2026年一季度，公司归母净利润同比大增197.20%，扣非净利润亦增长60.09%，主业增长强劲。期末合同负债与存货高企，显示在手订单饱满。

战略与技术研发进展
公司在5月13日的业绩会上表示，目标在五年内覆盖60%以上的集成电路高端关键设备，并披露新一代低温刻蚀设备已交付验证，新品研发复用技术占比超60%，研发效率提升。

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