经济观察网 天眼查APP显示，近日，江苏微导纳米科技股份有限公司申请的“镀膜设备”专利公布。
摘要显示，本申请公开了一种镀膜设备。镀膜设备包括工艺管、底座、载具和线圈。底座设置于工艺管内，底座为导体。载具放置于底座上，用于承载基片，载具为导体。线圈绕设于工艺管外周。其中，线圈用于通入交变电流产生交变磁场，底座和在于用于在交变磁场作用下产生涡流，以对基片进行加热。通过上述方式，本申请能够提高镀膜设备的加热效率。
京公网安备 11010802028547号
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