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经观智讯2025-09-24 10:01
经济观察网 半导体设备股反复活跃,长川科技、盛美上海涨超10%,京仪装备、北方华创涨超3%,均创历史新高,芯源微、华海清科、耐科装备等跟涨。消息面上,盛美上海在互动平台表示,9月8日,公司宣布推出首款KrF工艺前道涂胶显影设备Ultra Lith KrF。首台设备系统已于2025年9月交付中国头部逻辑晶圆厂客户。
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